با افزایش تعداد کاربردهای صنعتی و زمینه‌های تحقیقاتی، نیاز به تاسیسات و تجهیزات مربوط به کلین روم (اتاق تمیز) روز به روز بیشتر می شود. این تجهیزات می بایست بر اساس یک برنامه منظم، تست و صحه‌گذاری شوند. افزون بر مهارت فنی، انجام این آزمایش‌ها نیازمند ابزار مناسب است که خود این تجهیزات نیز باید تاييده شده و طبق استانداردها و راهنماهاي موجود (VDI 2083، VDI 3491، VDI 3867، DIN EN 12469، DIN 12980، ANSI/IEST/ISO 14644-3، ISO 21501) باشند.

به منظور اندازه‌گیری مستقیم آئروسل‌ها، عموماً از خواص نوری ذرات معلق برای شناسایی و اندازه‌گیری غلظت آنها استفاده می‌شود. بر مبنای اصل پراکندگی نور، دو روش برای پایش آئروسل وجود دارد: روش شمارش ذرات به روش نوری (OPC) و روش فوتومتری. در روش اول از آنالیز پراش نور توسط هر ذره استفاده می‌شود، به همین دلیل این روش، به روش اندازه گیری ذرات به صورت مجزا (DPC) نیز موسوم است؛ در حالیکه در روش دوم این کار توسط ابری از ذرات صورت می‌گیرد. هر دو روش برای تبدیل میزان نور پراش یافته به غلظت ذرات، نیاز به کالیبراسیون دارند.

محیط‌های فرآیند «تمیز» می‌بایست همیشه و در همه مراحل تمیز باقی بمانند، بنابراین فیلتر کردن هوای محیط به تنهایی کافی نمی‌باشد. به منظور حداقل رساندن آلودگی نیاز به ساخت محیط‌های مجزایی است که در اصطلاح «اتاق تمیز» یا کلین روم نامیده می‌شوند که امکان محدود کردن ذرات در سطوح قابل اندازه‌گیری و کنترل را فراهم می‌سازند. در اتاق‌های تمیز با بیشینه کردن جریان هوای لامینار و کمینه کردن محل‌های حبس ذرات به این مهم دست یافته می‌شود. جریان هوای لامینار، هوایی است که در یک جهت حرکت می‌کند و باعث می‌شود که ذرات در یک فضا محبوس نشوند و جارو شوند. محبس‌های ذرات مناطقی هستند ذرات جمع می‌شوند و از جریان هوای لامینار به دور هستند. طراحی دقیق کلین روم می‌تواند ایجاد این فضاها را به حداقل برساند.